12:00 〜 12:15 [20a-C101-11] ミニマルファブプロセスによるダイヤモンドSAWデバイスの作製(2) 根川 雅也1、亀濱 博紀1、〇藤井 知1,2、遠江 栄希3 (1.沖縄高専、2.東工大、3.横河ソリューション)