13:45 〜 14:00 △ [17p-C204-3] 衝突輻射モデルに基づく多数発光線解析によるマイクロ波放電低気圧アルゴンプラズマ診断 〇(M2)山下 雄也1、山崎 文徳1、根津 篤2,3、赤塚 洋3,1 (1.東工大工学院、2.東工大技術部、3.東工大研究院)