[17p-C204-1~20] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [17p-C204-3] 衝突輻射モデルに基づく多数発光線解析によるマイクロ波放電低気圧アルゴンプラズマ診断

〇(M2)山下 雄也¹、山崎 文徳¹、根津 篤^2,3、赤塚 洋^3,1 (1.東工大工学院、2.東工大技術部、3.東工大研究院)

キーワード：低気圧プラズマ診断、発光分光計測、衝突輻射モデル

衝突輻射モデルに基づいた原子過程モデルを用いた，多数の発光線強度を入力とした，低気圧アルゴンプラズマに対する筆者らが提案する電子温度および電子密度診断法を検証した．マイクロ波放電プラズマを対象として，プローブ計測との対照実験を行った．マイクロ波電力および測定位置との依存性を測定した結果，特に電子密度についてはプローブ計測の傾向と一致することが確認でき，提案手法の妥当性が明らかとなった．