14:45 〜 15:00 △ [19p-C204-5] 窒化ガリウムの原子層エッチングに向けたラジカル吸着機構の解明 〇長谷川 将希1、堤 隆嘉1、谷出 敦1,2、近藤 博基1、石川 健治1、堀 勝1 (1.名大、2.(株)SCREEN ホールディングス)