16:00 〜 16:15 △ [17p-C101-1] Ge薄膜のFLA結晶化におけるキャップ層の効果 〇(B)秋田 佳輝1、部家 彰1、松尾 直人1、小濱 和之2、伊藤 和博2 (1.兵県大工、2.大阪大工)