17:00 〜 17:15
〇Takashi Noguchi1、Yuya Ishiki1、Futa Gakiya1、Tatsuya Okada1、Taro Morimura2、Atsushi Ota2、Yasushi Nishikata2 (1.Univ.f the Ryukyus、2.ULVAC Inc.)
Takashi Noguchi
発表者・著者、共著者
2018年3月17日(土) 16:00 〜 17:30 C101 (52-101)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術