17:15 〜 17:30
〇(DC)李 武1、上野 尚文1、加藤 永史1、櫻庭 政夫1、秋間 学尚1、佐藤 茂雄1 (1.東北大通研)
李 武
発表者・著者、共著者
2018年3月17日(土) 16:00 〜 17:30 C101 (52-101)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2018年3月17日(土) 16:00 〜 17:30 C101 (52-101)
17:15 〜 17:30
〇(DC)李 武1、上野 尚文1、加藤 永史1、櫻庭 政夫1、秋間 学尚1、佐藤 茂雄1 (1.東北大通研)