15:30 〜 15:45 △ [17p-C204-9] 誘導結合プラズマにおけるアンテナ電流・電圧によるモードマッピング 〇(M2)森山 誠1、Ganachev Ivan1,2、中村 圭二1 (1.中部大工、2.芝浦メカトロニクス)