13:15 〜 13:30 [18p-B301-2] SiO2/Si構造の真空紫外光電子分光分析 〇今川 拓哉1、大田 晃生1、田岡 紀之2、藤村 信幸1、池田 弥央1、牧原 克典1、宮崎 誠一1 (1.名大院工、2.産総研 GaN-OIL)