16:00 〜 16:15 △ [18p-C104-6] 基本モードと3次モードの共振周波数比を用いた基板付き薄膜の電気機械結合係数kt2の評価法 〇戸塚 誠1,2、柳谷 隆彦1,2,3 (1.早大院・先進理工、2.材研、3.JST さきがけ)