17:30 〜 17:45 [18p-D103-16] 多結晶シリコンの非鏡面表面における機械学習を用いたエッチピット検出 〇小島 拓人1、小椋 厚志1、福井 健次2、古茂田 学2、跡部 淳一2 (1.明治大理工、2.京セラ)