16:00 〜 18:00 [18p-P14-4] 走査型プローブ顕微鏡による4H-SiCの機械化学加工面評価 〇平出 亮二1、礒谷 晋也1、岡本 敏弘2、原口 雅宣2 (1.ケメット・ジャパン、2.徳島大フロンティア)