11:00 〜 11:15 [19a-D103-8] 放射光トポグラフィーによる溶液法ウエハ上へのエピ成長過程における転位伝播挙動の評価 〇関 和明1、楠 一彦1、原田 俊太2、宇治原 徹2 (1.新日鐵住金、2.名大院工)