17:45 〜 18:00 [19p-C302-16] MOCVD法によるInAlGaN/AlGaNヘテロ構造の成長とその2DEG特性の熱的安定性評価 〇(M1)細見 大樹1、陳 珩1、江川 孝志1、三好 実人1 (1.名工大)