16:00 〜 18:00 [19p-P11-12] m面サファイア基板上に作製したalpha-(Al,Ga)2O3バッファ層上へのalpha-Ga2O3薄膜の作製と構造評価 〇(M1)関山 尊仁1、太田 勝也1、赤岩 和明1、阿部 友紀1、四戸 孝2、市野 邦男1 (1.鳥大工、2.FLOSFIA)