16:30 〜 16:45
〇谷島 孝1,2、安井 政治1,2、クンプアン ソマワン1,2、前川 仁1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)
谷島 孝
発表者・著者、共著者
2018年3月20日(火) 13:45 〜 16:45 C101 (52-101)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2018年3月20日(火) 13:45 〜 16:45 C101 (52-101)
16:30 〜 16:45
〇谷島 孝1,2、安井 政治1,2、クンプアン ソマワン1,2、前川 仁1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)