15:30 〜 15:45 △ [20p-D103-9] FEM及びラマン分光法による4H-SiCパワーデバイスの応力テンソル解析技術の開発 〇(D)榊間 大輝1、波田野 明日可1、牛流 章弘2、廣畑 賢治2、泉 聡志1 (1.東大工、2.(株)東芝)