13:45 〜 14:00 [20p-F104-1] フォトルミネセンス測定による溶液法IGZO中の酸素空孔の定量 〇森本 貴明1,3、落合 祐輔1,3、福田 伸子3、大木 義路1,2 (1.早大先進理工、2.早大材研、3.産総研FLEC)