13:30 〜 15:30 [20p-P6-19] 6インチc面サファイア基板上AlNの高温N2アニールによる高品質化の検討 〇三嶋 晃1、富田 優志1、山岡 優哉1、矢野 良樹1、田渕 俊也1、松本 功1、三宅 秀人2 (1.大陽日酸(株)、2.三重大)