曽根正人

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座長等

2018年3月19日(月) 13:45 〜 19:05 C101 (52-101)

シンポジウム(口頭講演)
| シンポジウム
| 集積化センサシステムによるユビキタス健康管理を目指して

[19p-C101-1~12] 集積化センサシステムによるユビキタス健康管理を目指して

小山正人(東芝メモリ)、内田建(慶大)、曽根正人(東工大)

2018年3月20日(火) 09:15 〜 12:15 C101 (52-101)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[20a-C101-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

曽根正人(東工大)