[17p-C201-1~19] 8.5 Plasma phenomena, emerging area of plasmas and their new applications

△ [17p-C201-9] Electron collision cross sections of C₂F₆ gas

〇Naofumi Hatakeyama¹, Satoru Kawaguchi^1,2, Kazuhiro Takahashi¹, Kohki Satoh¹ (1.Muroran I. T., 2.JSPS Research Fellow)

Keywords:C2F6, Electron collision cross section, Monte Carlo simulation

これまでに多数のC₂F₆ガスの電子衝突断面積セットが報告されているが，それらを用いて得られる電子輸送係数の計算値は必ずしも実測値と一致するとは限らず，解離種の生成に関する情報も含まれていない。本発表では，断面積セットを用いて得られるC₂F₆ガス中およびC₂F₆/Ar混合ガス中の電子輸送係数の計算値が実測値を再現するとともに，解離性電離および解離性電子付着断面積を詳細に考慮した電子衝突断面積セットを提案する。