[17p-C201-1~19] 8.5 プラズマ現象・新応用・融合分野

△ [17p-C201-9] C₂F₆ガスの電子衝突断面積

〇畠山 直史¹、川口 悟^1,2、高橋 一弘¹、佐藤 孝紀¹ (1.室蘭工大、2.学振特別研究員)

キーワード：C2F6、電子衝突断面積、モンテカルロシミュレーション

これまでに多数のC₂F₆ガスの電子衝突断面積セットが報告されているが，それらを用いて得られる電子輸送係数の計算値は必ずしも実測値と一致するとは限らず，解離種の生成に関する情報も含まれていない。本発表では，断面積セットを用いて得られるC₂F₆ガス中およびC₂F₆/Ar混合ガス中の電子輸送係数の計算値が実測値を再現するとともに，解離性電離および解離性電子付着断面積を詳細に考慮した電子衝突断面積セットを提案する。