[17p-C204-1~20] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [17p-C204-7] カーボンターゲットを用いたハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリング放電におけるイオンの挙動

〇(M1)伊賀 一憲¹、小田 昭紀²、上坂 裕之³、太田 貴之¹ (1.名城大理工、2.千葉工大、3.岐阜大工)

キーワード：ハイパワーインパルスマグネトロンスパッタリング、エネルギー分解質量分析法

カーボンターゲットを用いたHiPIMS放電は、硬質あるいは低摩擦DLCを実現させる成膜手法として注目を集めている。本研究では、エネルギー分解質量分析法を用いてアルゴンイオンとカーボンイオンのエネルギー分布を計測した。アルゴンイオンは低エネルギー成分と高エネルギー成分からなる分布を示した。一方、カーボンイオンは高エネルギー成分のみの分布を示した。この違いは、イオンの生成過程に起因すると考えられる