[17p-C204-1~20] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [17p-C204-9] 誘導結合プラズマにおけるアンテナ電流・電圧によるモードマッピング

〇(M2)森山 誠¹、Ganachev Ivan^1,2、中村 圭二¹ (1.中部大工、2.芝浦メカトロニクス)

キーワード：誘導結合プラズマ、モード遷移、シミュレーション