[17p-E201-1~7] 化合物電子デバイス・プロセス技術の進展　～GaAsの繁栄から学ぶ・温故知新～

[17p-E201-2] AlGaAs/InGaAs系 MBEの高純度化から始めた電子デバイス用エピ量産技術

〇三島 友義¹ (1.法政大)

キーワード：化合物半導体、MBE、MOVPE

本講演では筆者らが日立中央研究所在籍中に進めたMBE原料の見直しと高純度化、および、それによるAlGaAs/InGaAs系エピの改善と当時の日立電線（現 サイオクス）でのMOVPEによる量産技術とのコラボレーションを紹介し、GaAs系電子エピの発展の経緯について述べる。