[17p-E201-1~7] 化合物電子デバイス・プロセス技術の進展　～GaAsの繁栄から学ぶ・温故知新～

[17p-E201-7] SiCデバイス開発の現状と今後

〇米澤 喜幸¹ (1.産総研)

キーワード：シリコンカーバイド、パワー半導体