[17p-F206-1~17] 13.3 絶縁膜技術

[17p-F206-3] Ge酸化に伴う表面平坦性の劣化と酸化機構の変化

〇竹村 千里¹、柴山 茂久¹、西村 知紀¹、矢嶋 赳彬¹、鳥海 明¹ (1.東大工)

キーワード：ゲルマニウム、酸化、平坦性