2018年第65回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

1 応用物理学一般 » 1.3 新技術・複合新領域

[17p-P2-1~10] 1.3 新技術・複合新領域

2018年3月17日(土) 13:30 〜 15:30 P2 (ベルサール高田馬場)

13:30 〜 15:30

[17p-P2-4] MOD法により作製したTi-doped V2O5薄膜の減圧焼成

〇(M1)ヴァンニュ ハイ1、前田 幸平1、河原 正美2、佐村 剛2、立木 隆1、内田 貴司1 (1.防衛大学校、2.高純度化学研究所)

キーワード:半導体、バナジウム、チタン