[17p-P5-1~14] 6.6 プローブ顕微鏡

[17p-P5-10] 炎エッチングによるタングステ探針作製法

〇山田 豊和¹、山口 貴之¹、稲見 栄一¹、大野 輝昭² (1.千葉大院工、2.テクネックス工房)

キーワード：探針、タングステン、走査トンネル顕微鏡