[17p-P7-1~21] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[17p-P7-1] アルミニウム支援気相化学エッチングの加工特性の評価

〇米谷 玲皇^1,2、奥野 将人²、割澤 伸一^1,2 (1.東大院新領域、2.東大院工)

キーワード：アルミニウム支援気相化学エッチング、酸化シリコン、異方性高速化学エッチング

本研究では、Alを利用したSiO₂の気相化学エッチングの加工特性の評価を行った。Al支援気相化学エッチングは、SiO₂の高速な異方性エッチングを可能とする技術である。Alを用いない通常のフッ酸気相化学エッチングと比較して、16.9倍高速であった。また、そのエッチング速度は、Al 中の酸素含有量に依存する形となった。Al支援気相化学エッチングによるSiO₂のエッチング特性について詳細に報告する。