[18a-B301-1~11] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[18a-B301-7] 電場下の金属/SiO₂界面における金属原子拡散の理論的検討

〇(M1)長澤 立樹¹、浅山 佳大¹、中山 隆史¹ (1.千葉大理)

キーワード：半導体