[18a-P1-1~46] 1.2 教育

[18a-P1-36] 短納期CMOS作製による半導体実習

〇山田 真司¹、岡田 和志¹、目黒 達也¹、佐藤 旦¹、雨宮 嘉照¹、田部井 哲夫¹、横山 新¹ (1.広島大学ナノデバイス)

キーワード：CMOS、技術研修、短納期

当研究所では、ナノテクPF事業として、半導体デバイスを中心とした技術支援を行っている。毎年半導体メーカの技術者や半導体デバイスを応用した研究を目指す研究者および学生を対象に各種の技術研修を実施してきた。半導体の全プロセスを横断的に体験できる研修とあって好評を博している。今回紹介する短納期CMOSデバイスにより、レイアウト設計からデバイス作製およびその特性測定までを1週間で研修している。