[18p-A202-1~15] デバイスシミュレーション技術の活用と将来展望

[18p-A202-10] TCADを用いたSuper-Steep SS PN-Body-Tied SOI FETの解析

〇森 貴之¹、井田 次郎¹ (1.金沢工業大学)

キーワード：SOI、steep subthreshold slope、TCAD