[18p-C201-1~7] イオンビームと表面分析：二次イオン質量分析法（SIMS）の最近の進歩と有機分析への応用

[18p-C201-1] SIMS技術の飛躍的発展を支える新技術：
新奇なイオンビーム開発から先端質量分析法まで

〇松尾 二郎¹ (1.京大工)

キーワード：SIMS、有機分子、質量イメージング

飛躍的な発展を遂げる2次イオン質量分析法は半導体から有機材料、生体高分子まで応用分野を拡げており、深さ方向分析から質量イメージング、さらには３次元分布の可視化など新たな分野へも展開している。本講演では、SIMS技術の飛躍的発展を支える新奇イオンビームや先端質量分析法を紹介し、今後取り組むべき技術課題や本技術の持つ将来展望について議論したい。