[18p-C201-1~7] イオンビームと表面分析：二次イオン質量分析法（SIMS）の最近の進歩と有機分析への応用

[18p-C201-2] クラスターイオンビームによるTOF-SIMS分析
－低加速ビスマスイオンビームの可能性－

〇宮山 卓也¹ (1.アルバック・ファイ)

キーワード：飛行時間型二次イオン質量分析、クラスターイオンビーム、分子イオン検出

TOF-SIMSにおいて、液体金属イオン源であるBiクラスターイオンビームは高い輝度を有していることからArガスクラスターに代表されるガスソースのクラスターイオンビームに対してビーム収束の面で有利である一方、二次イオンのフラグメント化が顕著であり、また親イオンの直接検出の面では高いエネルギーが妨げになると考えられる。本研究ではこれらを克服するため、低加速Biクラスターイオンビームについて検討した結果について述べる。