[18p-C302-1~19] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[18p-C302-1] GaN基板上原子層堆積Al₂O₃膜電気伝導特性の動的帯電モデル

〇平岩 篤^1,2、大久保 智³、堀川 清貴³、川原田 洋^1,3,4 (1.早大ナノ・ライフ、2.名大未来研、3.早大理工、4.早大材研)

キーワード：Al2O3、原子層堆積、電気伝導

電圧ストレス後に容量-電圧特性および電流-電圧特性を測定することにより原子層堆積Al₂O₃膜の帯電をゲート電圧の関数として把握することを特徴とする電気伝導特性解析技術を開発した。同技術によりシミュレーションした電流-電圧特性の結果は全電圧範囲において測定結果とよく一致するのみならずフラットバンド電圧も両者で一致することから、その有効性を確認した。