[18p-E202-1~22] 15.4 III-V-group nitride crystals

[18p-E202-15] Low temperature growth of GaN by reactive sputtering

〇Masanori Shirai¹, Takuji Yamamoto¹, Satoru Takasawa¹, Satoru Ishibashi¹ (1.ULVAC,Inc.)

Keywords:GaN, Sputtering, Low temperature

反応性スパッタ法によるGaNの低温成長について、下地となる基板とGaNの成長状態に関する考察を行う。