[18p-F206-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[18p-F206-11] ダイヤモンドショットキーPNダイオードの低温動作

〇高倉 健一郎¹、登田 晃浩¹、松木 賢斗¹、松本 翼²、徳田 規夫² (1.熊本高専、2.金沢大学)

キーワード：ダイヤモンド、ショットキーPNダイオード、低温動作

ダイヤモンドの整流素子として提案されているショットキーPNダイオードの低温電気特性を評価した。素子はホウ素を高濃度(2×10²⁰ cm^-3)に添加したp形ダイヤモンドllb基板上にマイクロ波プラズマCVD法で窒素添加N形層を堆積し、Niにてショットキー接合を形成した。素子の電気特性を評価したところ、17Kまで冷却後も良好な整流特性を保持し、10⁸もの高いon/off比を示した。