[18p-P14-1~19] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[18p-P14-14] 4H-SiC(0001)および(000-1)表面でのNO酸窒化反応シミュレーション

〇広瀬 隆之¹、小笠原 美紀¹、森 大輔¹、寺尾 豊¹ (1.富士電機)

キーワード：SiC、シミュレーション、一酸化窒素