[18p-P14-1~19] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[18p-P14-4] 走査型プローブ顕微鏡による4H-SiCの機械化学加工面評価

〇平出 亮二¹、礒谷 晋也¹、岡本 敏弘²、原口 雅宣² (1.ケメット・ジャパン、2.徳島大フロンティア)

キーワード：半導体、シリコン・カーバイト、パワーデバイス