[19p-C204-1~17] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[19p-C204-7] フルオロカーボン（Cx Fy+)イオンによるSiO₂およびSiエッチング反応

〇唐橋 一浩¹、李 虎¹、伊藤 智子¹、浜口 智志¹ (1.阪大院工)

キーワード：反応性イオン、エッチングイールド、フルオロカーボン