[19p-P11-1~31] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[19p-P11-7] a-Ga₂O₃を用いたダブルショットキー型光検出器の製作

〇力武 健一郎¹、山口 智広¹、尾沼 猛儀¹、本田 徹¹ (1.工学院大)

キーワード：光検出器、酸化ガリウム

本研究では，Ga₂O₃の中でもバンドギャップの最も広いa-Ga₂O₃を用いたダブルショットキー型光検出器の製作を行ったので報告する．