[19p-P4-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[19p-P4-14] ダイヤモンド(111)基板ホモエピタキシャル成長における基板オフ方位及びメタン濃度依存性

〇児玉 大志¹、毎田 修¹、伊藤 利通¹ (1.阪大院工)

キーワード：ダイヤモンド