[19p-P6-1~17] 6.4 薄膜新材料

[19p-P6-15] 磁気中性線放電プラズマによるオイルレス圧力センサ用ストレインゲージ薄膜のドライエッチング

〇佐藤 和郎¹、筧 芳治¹、金岡 祐介¹、小栗 泰造¹、近藤 裕佑¹、山田 義春¹ (1.大阪技術研)

キーワード：圧力センサ、ドライエッチング、ストレインゲージ