[19p-P6-1~17] 6.4 薄膜新材料

[19p-P6-3] SrTiO₃基板上へのVO₂薄膜のエピタキシャル成長

〇楠森 毅¹、中尾 節男¹ (1.産総研 中部)

キーワード：レーザー蒸着、酸化バナジウム、エピタキシー

酸化バナジウム（VO₂）は室温付近で金属-絶縁体相転移を示し、電場・電荷誘起による転移も報告されたことから新たに注目を集めている。VO₂の薄膜化はこれまでガラスやサファイア、酸化チタンの基板材料が使われてきた。しかし高い誘電率を持つチタン酸ストロンチウム（SrTiO₃）についてはその報告例はまだ少ない。そこでSrTiO₃単結晶基板上にVO₂薄膜のエピタキシャル成長を試みた。