[19p-P6-1~17] 6.4 薄膜新材料

[19p-P6-5] AlN圧電薄膜の結晶構造における種々の元素添加の影響

田中 早紀²、〇上原 雅人^1,2、Anggraini Sri Ayu¹、奥山 哲也³、山田 浩志^1,2、秋山 守人¹ (1.産総研、2.九大総理工、3.久留米高専)

キーワード：窒化アルミニウム、圧電薄膜、結晶構造

c軸配向した窒化アルミニウム薄膜は圧電体として知られ、センサや高周波フィルタとして利用されている。我々は、ScやMg-Nb添加で圧電定数が飛躍的に増加することを見出してきた。この他にも圧電定数を高める元素対はいくつか報告されているが、この時、格子定数比c/aの減少が指摘されている。今回、種々の元素を添加し結晶構造への影響を調査した結果、元素によって結晶構造の変化が様々であることが分かった。