[20a-C101-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[20a-C101-1] [講演奨励賞受賞記念講演] 無電解めっき法で作製した微細配線の電気特性

〇日恵野 敦¹、中西 務¹、田中 裕介¹ (1.東芝メモリ)

キーワード：無電解めっき法、微細配線、比抵抗