[20a-C101-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[20a-C101-2] 電界誘起気泡とプラズマを用いたメタライゼーション法の創生

〇市川 啓太¹、福山 雄大²、前田 真吾¹、山西 陽子² (1.芝浦工大、2.九大工)

キーワード：マイクロバブル、プラズマ、メタライゼーション

本研究では，プラズマの金属イオンに対する還元性とマイクロバブルのキャビテーションにおけるジェット水流の穿孔力に着目し，電界誘起気泡とプラズマを用いたメタライゼーション法の確立を行う．本手法では対象の導電性の有無に影響されず，表面処理を行うことなく局所的なメタライゼーションを行うことが可能である．