[20a-D103-1~11] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[20a-D103-6] H2/N2混合ガスアニールによる4H-SiC m面の表面結合状態

〇塩路 淳¹、藤井 健志²、安藤 寛¹、アントン ビシコフスキー¹、梶原 隆司¹、田中 悟¹ (1.九大院工、2.富士電機)

キーワード：SiC表面