[20a-E201-1~9] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[20a-E201-3] β-Ga₂O₃の積層欠陥 II. X線トポグラフによる解析

〇山口 博隆¹、倉又 朗人² (1.産総研、2.ノベルクリスタル)

キーワード：積層欠陥、X線トポグラフ、酸化ガリウム

β-Ga₂O₃の面欠陥をX線トポグラフで観察し、(-201)面における部分転位から期待される積層欠陥の同定を行った。